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低溫蒸發的基本原理是危廢水的沸點伴隨壓力強度的降低而降低，由真空泵將蒸發室抽至真空狀態，真空度約為-98KPa左右，在這個壓力強度下液體沸點為35℃左右，液體通過循環泵將危廢水持續循環霧化至換熱器，使危廢水的水分被蒸發。蒸發設備的主要動力壓縮機根據作用于冷媒，在不同的換熱部位根據對冷媒的壓力控制同時實現蒸發與冷卻，余熱隨冷媒循環利用，同時低溫蒸發與工作溫度接近，不會存在溫度差換熱，能將熱能損耗降低，實現環保節能的目的。
